受到新冠肺炎衝擊，國際面臨晶片荒，占 2020 年全球晶片代工業者總營收 60% 的台灣晶圓代工廠，因此受到關注，台積電更被譽為「護國神山」。研究機構 Gavekal 指出，台積電的重要不單是占有全球晶片過半產出，還在於沒人能趕上的製程研發能力。其中，關鍵的製程研發能力，部分仰賴專精半導體材料分析（MA，materials analysis）的汎銓科技。

汎銓科技董事長柳紀綸表示，「地球人一起跺腳，不一定會發生地震。汎銓進度延後，半導體研發時程起碼會晚一年。」在半導體材料分析市場，汎銓不是先進者，現在卻吃下台灣 55～60% 市占。它是如何做到的？

研發專利「盔甲」技術，年利潤成長95%

所謂的材料分析，指的是檢查晶片的材料和結構是否會降低成品的功效，確保晶片製造商的研發方向正確，縮短產品上市時間。柳紀綸指出，會選擇 MA，是因為技術門檻最高、含金量也最高。

半導體產業以工程來講，分為研發、產品、品管 3 大塊。研發的主軸是材料分析，產品需要故障分析（failure analysis），品質工程是可靠度分析（reliability analysis）。浮誇一點形容，MA 一個案子的收入，單位是萬，故障分析算千，可靠度則是 100～200 元新台幣。

汎銓 2005 年初創時研發 40 奈米，對手則獨占 28 奈米的檢驗，兩者市占率差 4～5 倍。轉折是在 2018 年，汎銓憑藉 5～3 奈米不可或缺的極紫外線（EUV，extreme ultraviolet）分析技術，市占率過半。

柳紀綸指出，早在 2013 年，汎銓就開始布局 EUV 分析技術，但要等到龍頭採用 EUV 光阻、低介電係數材料（Low-k dielectric）等材料，業績才逐漸起來。

一般來說，半導體材料和結構是透過電子顯微鏡觀察，但隨著晶片愈小，材料變薄、變軟，顯微鏡打出的電子束，容易讓樣品塌陷，分析照片會出現疊影，難以分析產品效能。而汎銓 2016 年應用、2020 年拿到專利的「低溫原子層鍍膜技術（LT-ALD）」，等同幫樣品穿上一層盔甲，讓材質不容易塌軟，提升分析的正確性和精準度。

柳紀綸表示，「EUV、Low-k 材質的分析，只有我們做得出來。」也是這個原因，汎銓的技術能夠「絕對領先」（這項領域只有他們能做）市場，2020 年利潤成長 95%。

每月公布產出，薪水全憑實力

為什麼有能力提早布局 5 奈米、3 奈米的材料分析？柳紀綸指出，關鍵在留人。

唯有人留得久，經驗才得以累計，進而提升分析的正確性。由於分析機台操作不是自動而是手動，因此不同人做，會有細微差異，一點差異就會延誤開發時程。

他進一步解釋，晶片代工龍頭要領先對手推出新製程，兩年內的研發手續多達上千道，只要誤判，就可能會落後於對手。兩年要有千道手續，每天等於要實驗一道以上的手續，每嘗試一道手續，就會把樣品送來汎銓，確認方向是否正確。

過程中，時程十分緊湊，舉例來說，客戶今天送樣，說加一點能量讓蝕刻深一點，汎銓的工程師今天調整，明早就要送件，讓對方有資料討論下一道工序。問題來了，客戶看分析結果，會跟昨天、前天、一個星期前的報告比對。如果昨天負責的工程師和今天不一樣，在操作上有一點出入，就會不夠精準。柳紀綸表示， 為了確保正確性和一致性，讓經驗傳承，最好的方法就是不要放走人才 。

柳紀綸從前老闆、聯詠董事長何泰舜的經驗基礎上，推出一套年薪計算準則。汎銓的每一位工程師都知道公式，可以算出今年年薪。比如說，今天 5 月 19 日 10 點 38 分，我做了多少顆晶片，平均月產出多少，年薪就出來了。每個月的工程會議，主管會列出所有人的月產出。你生產 160 顆，別人做 230 個，產能一清二楚。

「我們不是純實驗室做法（憑資歷晉升），什麼都憑實力。」相對其他對手看重資歷，汎銓更注重能力，做多少算多少。柳紀綸認為，適度透明，大家心裡才不會有芥蒂，願意努力並持續深耕，這套方法已運行 8～9 年，大家相信這很公平。研發部門 2013 年成立至今 60 多人，無人離職。即使把主管（副理以上）算在內，也只有一名因個人因素離開。

「不事生產」的工程師，負責和客戶聊天找研發方向

汎銓超前的關鍵，還在於了解客戶的需求。柳紀綸解釋，在其他業界，通常是客戶來了一個案子，工程師只會分析和討論這個案例，不會跟客戶有太多接觸。但在汎銓，最高學歷、最菁英的工程師（約占 5% 員工）不負責生產，專門跟客戶聊天。當客戶問 A，工程師就花時間想 A+1、A+2 方案。

這些解決方案不一定會變成業績，討論也不收費，所以工程師等同沒有產出。工程會議上，要怎麼評估他們的成績？柳紀綸指出，另一方面，「讓員工相信，我沒有任何產出，年薪依舊有保證」，也很重要。因為透過這些討論，汎銓能提早掌握未來 1～2 年可能遇到的分析問題，從聊天中掌握分析技術的發展方向，並提早布局。等到客戶有需求了，就會回頭找汎銓，因此客戶黏著度很高。

最後，面對晶圓廠開始自建分析廠的趨勢，柳紀綸毫不擔心，「我們是依存關係。」因為，「汎銓不是做客戶內部產能消化不完的東西，而是他們實驗室沒有的東西。」EUV 分析技術就是最直接的例子，「我的領先不只超前同業，也超前客戶。」

柳紀綸

淡江大學應用物理系學士。曾任聯詠科技資材部部經理。現為汎銓科技董事長兼總經理。