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台積電不能沒有它!ASML如何逆風翻盤,成為半導體大廠爭搶的對象?

2024-06-07 整理‧撰文 李岱君
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「全球半導體供應鏈最重要的 2 間公司是台積電跟艾司摩爾(ASML Holding NV)。」《萬物藍圖》作者詹姆斯.愛希頓(James Ashton)曾這麼說。這兩家企業屬上下游的夥伴,先有 ASML 的機台,台積電才可以製造出最先進的晶片。ASML 究竟何方神聖?

ASML 擁有半導體製造的關鍵機台,台積電不能沒有它

ASML 的核心業務是提供半導體製造設備,靠著獨家技術,打造出只有他才有的極紫外光(EUV,Extreme ultraviolet)設備,也就是所謂的 EUV 光刻機,英特爾(Intel)和三星(Samsung)都是他的客戶。公司發言人透露,ASML 今年將向台積電、英特爾、三星提供最新機型「高數值孔徑極紫外光曝光機」(High-NA EUV),每台要價高達 3.5 億歐元(約新台幣 123 億元)。

艾司摩爾 ASML
簡永昌攝影

台積電是 ASML 的最大客戶,一路突破 7 奈米、5 奈米、3 奈米到往 2 奈米製程前進,持續打造更小的電晶體、奠定領先地位,都是因為有 EUV 的微影技術,才能將工程師設計好的電路圖,縮小、映射在晶圓上,是極為精細的技術。ASML 因此有了「摩爾定律(Moore’s law)救星」的美名,讓半導體製造商能夠每 18 到 24 個月就成功將積體電路上乘載的電晶體數量翻倍。

由於這是半導體製造的關鍵技術,荷蘭政府曾因應美國的要求,禁止最先進的晶片製造技術出口給中國,等同於限制 ASML 出貨給中國、箝制中國半導體的發展。

最近因應 AI 崛起帶動背後的晶片需求,ASML 訂單增量,2023 年營收為 276 億歐元(約新台幣 9673.5 億元),年成長 30%,創下歷史新高。公司股價於 6 月超車奢侈品集團龍頭 LVMH,成為全歐洲市值第二大的上市公司。

ASML 的背景:從被飛利浦拆分的燙手山芋,變成目標「第一名」的產業先驅

1980 年代,美國因受石油危機影響處於經濟衰退期。當時光刻設備大廠 GCA 因為成本失控、庫存管理失當、糟糕的售後服務,被日本鏡頭大廠尼康(Nikon)超車。日本半導體相關製造的成本相對低廉、品質穩定,取代矽谷優勢,導致當時歐美半導體市場動盪,晶片價格暴跌。

1984 年,荷蘭電子巨頭飛利浦(Philips Electronics)因為財務考量,將虧損又沒有太多進展的光刻機業務拆分,和製造半導體設備的公司 ASM International 合資成立 ASML,CEO 賈特.斯密特(Gjalt Smit)走馬上任。

因為 ASML 承襲過去的研發習慣,商品從研發到製造的時程非常冗長,起頭十分艱難。ASML 第一年參加展會,就因為設備組裝不及,戰績是 0% 市占跟 17 台從飛利浦時期留下的存貨。員工甚至只能窩在門口擺放垃圾桶的倉庫辦公,吃頓午飯要報公帳也會擔心公司破產。

斯密特認為,ASML 想成功,必須有一台革命性的機器,才能殺出重圍。他首先振奮士氣,告訴員工他們不是從飛利浦被貶來的,而是來成就大事。他請漫畫家繪製卡通,擘畫成功的榮景、鼓勵員工:「不管未來發生什麼,都會令世界矚目。」

「我們必須爭取第一名,如果甘於做第三名或第六名,那就收手別幹了。我們必須把目標設定在頂峰,這是唯一的生存機會。」

這些努力奠定了 ASML 的風氣:他們只想當第一跟唯一。 當年斯密特參加完半導體展會,和許多客戶聊完後發現,半導體的未來會從大規模積體電路(LSI)進展到超大規模積體電路(VLSI),需要更緊密的電晶體,勢必需要光刻機協助將細節成像到晶圓,回頭便積極讓 ASML 投入研發。

ASML 極紫外光刻機
ASML官網

ASML 的強項:放棄全部自己做,靠供應鏈管理做出頂尖產品

1986 年 ASML 收到飛利浦下的訂單,機台出貨後卻被退回。飛利浦表示,儀器的油壓設備,不利於半導體實驗室保持乾淨,要求 ASML 在兩年內改進機台、調整關鍵設備,逼得他們必須跟時間賽跑。

為此,斯密特顛覆了過去在飛利浦的研發模式,在內部研發上,把一台機器拆成若干個模組,發包給多位工程師,建立「同時建構 5 個原型的開發計畫」,等於是有 5 個團隊同時開發一項技術、輪番測試,將測試和組裝的階段從 2.5 年縮短至半年。

此外,斯密特認為如果 ASML 未來在一年要生產數百台設備,有太多生產加工的工作要自己完成,不僅成本無法負荷,也會降低出貨效率。他決定藉著鄰近有深厚工業基礎的德國,說服多家供應商提供零組件,免去一條龍生產的製程。

延伸閱讀:全球半導體產業巨頭的示範:如何建立一個能留住女性人才的組織文化?

與其自己全數包辦,不如分包出去,奠基了 ASML 的商業模式。他們只專責研發跟組裝,生產製造則和多家供應商合作,講求專業化的分工,至今已和超過 5000 家供應商合作,設備僅有 15% 的零件由 ASML 生產。

複雜的供應鏈管理成為 ASML 的強項,他們和供應商簽訂長期合約,提供一套高標準,透過培訓、技術支援來幫助供應商發展,還會投資或是併購,嚴格把控產品品質並對此設定 KPI(關鍵績效指標),曾有投資人戲稱「ASML 會把不聽話的供應商買下來」,可見對於零件品質的堅持。

ASML 逆風翻盤:和台積電合作站上制高點,只有他能做出 EUV 光刻機

雖然 ASML 改變了製程、更新了技術,卻遇上日本半導體崛起,歐洲廠商紛紛轉向購入日本產品,ASML 搶不到什麼訂單,直到與台積電的合作。

1988 年,台積電在試用 ASML 機台後,就訂購 17 台設備,像場及時雨注入資金。其實台積電與 ASML 的淵源匪淺,《晶片戰爭》指出,台積電創立時有飛利浦投資,因此晶圓廠是根據飛利浦的製程設計的,和 ASML 可說是師出同門,在後續的合作上更加順利。

有了這次資金的注入,幫助 ASML 在 1991 年推出一戰成名的設備 PAS 5500,有靈活的架構,可以自由更換鏡頭因應客戶所需,以成本低、輕便為優勢,拿下 IBM 的訂單。IBM 是產業指標性的存在,只要能把機台賣給 IBM,就是品質的認可,也因此帶進了其他客戶的訂單,大幅縮短與其他廠商的差距。

到了 2002 年,當時的台積電研發副總林本堅一席話,讓 ASML 站上產業制高點。他顛覆過去半導體製程採用乾式曝光,認為改用浸潤式(Immersion)微影技術,在微影鏡頭和晶圓之間注入水,讓光的波長變短,才可以突破先進製程。當時尼康堅持乾式曝光的做法,難以突破波長的限制,卻為了固守看家本領,不願意投入資源研究。台積電找上 ASML 合作,ASML 傾聽客戶意見、投入研發。

2004 年,ASML 推出了第一台浸潤式微影機台的樣品,輾壓尼康的技術。此後在光刻機的市場急起直追,一路坐上王座,2007 年拿下光刻機 60% 的市占,超越尼康。

憑著這股技術優勢,英特爾(Intel)拉攏 ASML 加入美國研發 EUV 的技術組織,在 2015 年推出 EUV 光刻機,達成無人能超越的境界,讓半導體製造可以突破 7 奈米製程。

ASML極紫外光刻機
ASML官網

ASML 的護城河:技術太精細、供應鏈管理極複雜,對手難以複製

ASML 最強而有力的護城河有 4 大條件:

  1. 產品技術精確度高,需要大量的經驗和技術堆疊
  2. 供應鏈管理實力強大,組合超過 5000 家供應商的零組件、供貨無虞
  3. 開發相應軟體,可用於遠端診斷機台,能夠預測零件的報修時間,以及預先投影刻蝕的圖案,以提高效益和精準度
  4. 售後服務,他們提供 24/7 支援,也就是一周 7 天、每天 24 小時,全年無休的替客戶解決疑難雜症,有線上客服支援,還有提供現場服務工程師,讓工程師定期去客戶的工廠檢查機台設備。且會規畫「客戶培訓計畫」,教育客戶如何使用儀器,在機台安裝時也會由技術人員向客戶一邊說明操作指導,也因為這樣可以有客製化服務,了解客戶的生產需求跟設備配置,設計相對應的機台再給予指導。

ASML 創業 40 年,始終要做第一名,確立戰場後持續投入研發。ASML 的成功來自於對研發的重視、始終保持開放的心態,例如只要有可能改善的設備的方法都願意嘗試,像是採用浸潤式微影技術,最後則是鼓勵合作,拉著供應商,逼他們做出最好的品質,也幫助他們成長。

資料來源:《萬物藍圖》《光刻巨人》《晶片戰爭》CounterpointThechipletterBBC經濟學人

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