半導體產業中，製造晶片的製程複雜多樣，不僅會耗費大量資源，也會產生大量廢棄物。若直接拋棄，對環境將造成傷害，因此要處理排放及回收的問題。然而，不同廠區會因為晶片的產品和製程不同，導致產生的廢棄物成分及含量不一，甚至根據國家或地區的規範差異，排放標準也會有不同規定，這些都讓企業難以降低廢棄物的處理成本。

1997 年成立的朋億，以提供半導體製程設備服務起家，發展出從供應系統到回收系統的一站式客製化服務。2021 年與工研院合作溶劑回收再利用系統，以及結合德國廠商的薄膜技術，開發油氣薄膜回收裝置，降低油罐車儲運、灌裝油品過程中逸散油氣的空污危害。朋億同年合併稅後淨利約 6 億，年成長 53%。

廢液經過回收、分離、精餾，混合後可重新回到產線上

「溶劑回收再利用，困難的點是在於要回到製程再使用。因為要做到跟原來的純度、還有不純物的含量要完全一樣。」朋億總經理馬蔚解釋，就像海水淡化或中水回收，最大的挑戰在於，這些海水與一般廢水要跟自來水成分相同；要將廢棄的化學品重新供應到製程上，有一定的技術門檻。

朋億主要做面板業的去光阻液回收，面板製程裡要塗布光阻劑，曝光後才能顯影，曝光完後，需要溶劑將上面的光阻劑去除掉。以前的方式是洗了以後，這些溶劑就要排放，運走或者燒掉處理。

朋億的設備是可以做到將這些溶劑去完光阻回收，以分段收集的方式區分不同成分的廢液，精餾出當中成分、分離出不純物質後，再經過混合系統，就像一般用汽油不光只是單一成分，還有其他成分，因此要將處理後的成分，經過混合系統，調和成與製程所使用的成分一致。這些重新調和好的溶劑，便可回到製程上，減少製程浪費之餘，也替客戶省下進料和回收成本。

客戶早期每一次都要再買新的溶劑，現在除了在製程中有 10～15% 的揮發損失，都不用再買新的，成本比以前減少 80% 以上。馬蔚表示，現今朋億提供的 15 台廢溶劑回收系統，回收後再利用的比率可達 9 成以上，每年約減少 300 萬噸碳排放。

「一開始大家的印象是，這是廢棄物處理。它不是，它是直接回生產線，有很大的效益。」馬蔚自信地說，當製程廢棄物可重新回產線利用，既是環保設施，也是生產設備，因為「它能幫企業賺錢。」

跟隨客戶開發設備、海外設廠，客製化與售後服務獲信賴

被問及最感到驕傲的是哪一項技術，馬蔚的答案有點意外：「好像沒有。」因為技術是與時俱進的，客戶也面臨很多挑戰，今天只要採用新的技術，廠商就要跟進，像是引入新的設備、新的化學品、新的氣體，或客戶希望做到 recycle（循環利用）、reclaim（重新使用）或 reuse（再利用）。朋億就會跟客戶一起去實驗開發客製化設備。

在朋億成立的當時，台灣半導體產業已初具規模，馬蔚說，大型客戶都已和很多實績的先進公司合作，朋億身為後進者，一開始沒辦法切入半導體主要廠商，只能把握每次機會，從新成立的半導體廠、建廠不是那麼頻繁的廠，慢慢參與。如今，不光是半導體業，朋億的客戶也包含面板及光電業。

早期有客戶要求在地支援（local support），為了回應客戶需求，朋億便在中國、新加坡設立分公司、建廠，提供包含代操作、教育訓練等售後服務，「UMC（聯電）去中國建廠，不光邀請一家廠商，最後取得機會，邀請我們去建廠。」馬蔚表示，朋億不會裝好系統就撤走，也會有售後服務，讓客戶看到我們的承諾。新加坡UMC第一個案子，跟後來的案子也隔了很多年，這就是對客戶的承諾。